특수 소스

특수 소스

개폐식 소스

개폐식 소스

무중단 작업에 적합한 혁신적인 소스 솔루션

Veeco의 개폐식 소스는 유지 관리 및 시스템 uptime을 위한 소스 용량, 소스 제거를 포함해 MBE의 기능적 제한 사항에 대처합니다. 개폐식 소스는 소스 게이트 밸브로 성장 환경에서 개별 소스를 꺼내서 분리하며 그런 다음 전체 챔버를 환기하지 않은 채 제거합니다. 그런 다음 동일한 재료 또는 새로운 재료로 소스를 손쉽게 재보충한 후 성장 모듈의 표준 위치에 재창착하여 중단은 최소화하면서 계속 성장시킬 수 있습니다. 전체 시스템 환기 및 bake 공정이 필요하지 않으므로 사용자는 새로운 재검증 소스 및 substrate 거리와 몇 주에 달하는 downtime을 줄일 수 있습니다. 또한 차압 펌핑 옵션은 소스 주위의 기저 압력을 두드러지게 개선하면서 소스 재료의 오염을 감소시키며, 부식 환경 및 산화 환경에서 소스의 수명이 길어집니다. Veeco의 개폐식 소스는 재료 융통성과 시스템 생산성을 위한 솔루션이며 특허 받은 SUMO 소스 기술과의 리더십을 향상시킵니다.

  • 사실상 무중단 시스템 작업
  • 재보충 및 유지관리 시간 감소
  • 신뢰성 및 무벨로 설계 개선
  • 차압 펌핑을 통해 소스 재료 순도 유지
  • Veeco MBE 시스템에만 이용 가능

문의

영업 팀에서 언제든 도와드리겠습니다.