MBE 구성요소

MBE 구성요소

인 분해 밸브 온도 컨트롤러

인 분해 밸브 온도 컨트롤러

정확하고 안정적으로 Flux 불안정성 제어

Veeco 인 분해 밸브 온도 컨트롤러는 기존 및 새로운 인 분해 밸브에서 사용이 가능하며, 기온 또는 수냉 온도 등의 환경 조건이 바뀌어 발생할 수 있는 white zone temperature 불안정성을 정확하고 안정적으로 제어합니다.

온도 컨트롤러는 지속적으로 white zone temperature를 ±0.05°C 미만으로 유지하여 인 flux 안정성을 ±1% 미만으로 유지합니다. 더불어 온도 컨트롤러는 white zone 기류를 수동으로 설정하는 것과는 달리, 사용자가 white zone의 온도를 정확하게 설정하도록 도와 분해 밸브 공정 설정을 간소화합니다.

  • 인 white zone temperature를 ±0.05°C 미만, flux를 ±1% 미만으로 유지
  • 모든 Veeco 인 분해 밸브와 호환
  • 수온, 기온, 기류 등으로 인한 인 flux의 불안정성 해소

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