MBE 구성요소

MBE 구성요소

범용 전구 RF Plasma Source Autotuner

범용 전구 RF Plasma Source Autotuner

자동화된 MBE 플라즈마 소스 최적화 솔루션

Veeco RF Plasma Source Autotuner는 핸즈프리 작업이 가능한 Veeco 범용 전구 RF 플라즈마 소스와 함께 사용합니다. Autotuner는 최적의 플라즈마 소스 상태를 자동으로 조절 및 유지하므로 실험 중 수동으로 조정할 필요가 없습니다. 작업 조건(예: 가스 흐름, 전력 수준)이 자주 변화하는 경우 Autotuner는 공정 자동화에 매우 적합한 솔루션입니다.

Autotuner는 Autotuning Controller, Autotuning Unit, Autotuning Power Supply와 같이 세 부분으로 구성됩니다. Autotuning Controller는 작업자가 접근 가능한 컨트롤, Autotuning Unit 상태의 시각적 디스플레이, 사용자 가공 시스템의 제어 인터페이스를 갖추고 있습니다. Autotuning Unit은 변수 커패시터 두 개 및 고정 인덕터 한 개로 구성됩니다. Autotuning Unit 내 변수 커패시터는 servo-motor로 구동되며 Autotuning Controller로 전력을 공급받습니다. Autotuning Power Supply는 유닛에 전력을 공급하여 제대로 된 기능을 발휘하며 적합한 전력 요건을 충족시킵니다.

Veeco Autotuner는 모든 Veeco 범용 전구 RF 플라즈마 소스와 함께 기본 배송될 뿐만 아니라 Veeco 수동 튜너의 직접 대체물로도 이용할 수 있습니다.

Autotuner를 통한 부가 혜택인 Veeco RF 플라즈마 소스는 안정적인 성장 조건과 최적화된 전력 효율을 보장합니다. Autotuning Controller의 프로그래밍 가능 파라미터로 다양한 옵션 선택이 가능하므로 사용자 정의하거나 응용 분야의 필요에 맞출 수 있습니다.

자동 모드에서 Autotuning Unit의 내부 센서(단계 및 규모 감지기)는 오류 시그널을 생성합니다. Autotuning Controller는 오류 신호에 반응하여 servo-motor를 구동함으로써 자동으로 네트워크를 적합한 플라즈마 임피던스로 조정합니다.

수동 모드에서 변수 커패시터는 전면 패널의 MIN/MAX 스위치를 사용해 배치되며, 작업자가 수동으로 autotuning unit을 조정해 플라즈마 임피던스에 일치하도록 servo-motor 회전 방향을 제어합니다.

  • 안정적인 성장 조건 보장
  • 전력 효율성 최적화
  • 핸즈프리 작업 가능
  • Veeco 산소 및 질소 RF 플라즈마 소스와 호환 사용 가능

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