MBE 구성요소

MBE 구성요소

산소 압력 제어 시스템

산소 압력 제어 시스템

MBE 산화물 응용 분야에서 산소를 제어하는 효율적이고 안전한 수단

산소 응용 분야에 대한 관심이 증가하는 상황에서, Veeco의 산소 압력 제어 시스템은 MBE 성장 모듈 내 산소량을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 이 제어 시스템은 시간을 절약해 주는 자동화를 통해 Set Point 및 Ramp Rate에 대한 산소 압력 피드백과 작업자 입력 값을 모니터링으로 비교하여 압전 밸브의 열기/닫기 조작을 담당하는 신호 변수를 파악하고, 원하는 산소량을 성장 모듈에 방출합니다.

Veeco 산소 압력 제어 시스템은 ECS1™ Molly® Growth Control Software와 통합된 모든 Veeco MBE 시스템에서 사용할 수 있습니다.

  • MBE 산화물 응용 분야에서 산소량을 제어하는 효율적이고 정밀한 수단
  • Molly Growth Control Software로 통합 및 모니터링 용이
  • Molly Growth Control Software의 ECS1 버전과 통합된 모든 MBE 시스템과 호환 가능

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