NEXUS PVD-1 물리적 증기증착 시스템

증착 모듈. 다양한 크기의 웨이퍼를 사용할 수 있는 이 시스템은 산화물 및 질화물 증착은 물론 자성 물질 등 여러 가지 데이터 스토리지 용도에 맞게 조정 가능합니다. 반도체, GaA, 패키징 분야에 사용되는 저렴하고 우수한 성능의 도구이기도 합니다.

특정한 공정 및 생산 요건에 따라 간편하게 구성 가능
3"에서 8"까지 다양한 웨이퍼 크기 지원
음극, 웨이퍼 척, 가스 매니폴드, 셔터, 펌프 패키지 등 표준 액세서리 지원
모듈식 설계로 작업자 및 유지관리 교육 요건이 간단하며 예비 부품 비축도 용이
NEXUS 이온 빔 식각, 이온 빔 증착 및 기타 물리적 증착 도구와 빠르고 간편하게 통합되도록 설계

당사의 팀에서 언제든 도와드립니다.