Mark I+ Gridless 이온 소스

진공 코팅 공정용 고전류 빔 제공

표면 사전 세척, 보조 증착 및 일부 식각 작업에 이상적인 Mark I+ gridless 이온 소스는 진공 코팅 공정용으로 설계된 고전류 빔을 제공하여 공정의 균일성을 향상시키고 substrate 손상을 막아 줍니다.

• 직경 750mm 이하 시스템의 진공 코팅 공정용으로 설계
• 고전류 저에너지 이온이 요구되는 경우에 사용하면 효과적
• 피막 응력과 stoichiometry 제어에 특히 유리한 고전류 빔
• 반응성 환경을 비롯한 산업 공정에도 적합
• 소스 성능을 보완하는 한편 안정적이고 신뢰성 있는 공정 작업을 유도하는 Mark 시리즈 이온 소스 컨트롤러(별도 판매)