포토닉스 응용 작업을 위한 Lumina As/P MOCVD(유기 금속 화학 증착) 시스템


20년 이상의 대용량 MOCVD(유기 금속 화학 증착) 경험을 활용하여 As/P 기반 포토닉스 장치 지원
Lumina R480 및 R480S 시스템은 탁월한 수율과 유연성을 위해 오랜 작업 동안 우수한 균일성과 낮은 결함성을 특징으로 갖는 Veeco의 업계 선도적인 MOCVD(유기 금속 화학 증착) TurboDisc® 기술을 기반으로 합니다. 또한 Veeco의 독점 기술은 우수한 두께 및 조성 균일성을 위해 균일한 열 제어를 제공합니다. 원활한 웨이퍼 크기 전환을 제공하는 이 시스템은 최대 6인치 직경의 웨이퍼 위에 고품질 As/P 에피택셜층을 증착할 수 있습니다. R480 및 R480S 시스템은 사용자가 시스템을 사용자 지정하여 최대값을 설정할 수 있습니다.

차세대 장치로 발전하기 위해 설계됨

수직 공진 표면광 레이저(VCSEL: Vertical Cavity Surface Emitting Laser)

  • 3D 감지
  • LiDAR
  • 고속 데이터 통신

에지 방출 레이저

  • 고급 광 통신
  • 실리콘 포토닉스

미니 및 마이크로 LED

  • 4K 및 8K TV 디스플레이
  • 스마트폰
  • 웨어러블 장치
  • AR/VR(증강 현실/가상 현실)

당사의 팀에서 언제든 도와드립니다.