Veeco는 Molly Growth Control Software 및 Lot Manager Scheduling Software의 연구 및 생산 MBE 시스템 모두에 대해 광범위한 일체형 소프트웨어 제어 솔루션을 제공하고 있습니다. Molly로는 성장 공정을 실행할 수 있는 recipe를 쉽게 작성하고 작동할 수 있으며 Lot Manager로는 Veeco 자동화된 생산 MBE 시스템의 자동 작업을 관리할 수 있습니다.

Molly Growth Control Software

• 모니터링 및 제어
  Molly는 전원공급장치, RHEED, 고온계 및 기타 실시간 모니터링 도구를 포함한 시스템 구성 요소와 인터페이스합니다. 온도, 압력 및 위치를 포함한 시스템 상태가 명확하게 표시되며 제어 설정점을 직접 설정할 수 있습니다.
  알람은 사용자에게 비정상적인 상태를 경고하며 Recipe를 방지하는 데 사용할 수 있습니다.
• 성장 Recipe 편집기
  사용이 간편한 Recipe 구성 블록을 갖춘 결정성장 전용 Recipe 편집기를 사용하여 성장 Recipe를 쉽게 만들 수 있습니다. Molly의 스크립팅 언어인 MollyScript™의 강력한 기능을 사용하여 보다 복잡한 루틴을 만들 수 있습니다.
• EpiTrend™ 데이터 레코더 및 뷰어
  EpiTrend는 항상 데이터 레코더 및 뷰어에 있습니다. 시스템의 모든 상태 및 제어 신호가 지속적으로 기록됩니다. 내장 뷰어를 사용하여 데이터를 보고 비교할 수 있습니다.
  외부 분석에 사용하기 위해 데이터를 내보낼 수도 있습니다.

Lot Manager Scheduling Software

• 자동 platen transfer
  로트 시트는 platen transfer 및 Recipe 실행을 예약합니다. 유연성이 뛰어난 로트 시트로 맞춤형 모듈 시퀀스가 가능합니다. 종속성 옵션을 사용하면 중요한 프로세스를 동기화할 수 있습니다.
  Transfer 최적화는 병렬 작동으로 처리량을 향상시키고 동시에 여러 모듈에서 Recipe를 실행합니다.
• 수동 작업
  수동 platen transfer는 빠르고 쉬운 드래그 앤 드롭 작업입니다. 수동 모듈 작동은 모듈 작동 제어에서 직접 액세스합니다.
• 시스템 상태
  사용자 정의 개요 화면에는 platen 위치, 슬릿 밸브 상태, 모듈 상태 및 기타 제어 신호 정보가 표시됩니다.
• EpiMove™ 수동 시스템 제어
  필요한 곳에서 수동 및 유지보수 제어. EpiMove는 견고한 휴대용 컴퓨터에서 작동합니다.