MBE 시스템

MBE 시스템

GENxplor R&D MBE 시스템

GENxplor R&D MBE 시스템

화합물 반도체 R&D 시장을 위한 업계 최초 완전 일체형 MBE 시스템

수상 경력이 있는 Veeco의 GENxplor™ R&D MBE 시스템은 Veeco의 입증된 GEN10™ MBE 시스템 성장 챔버 설계를 사용하여 따라올 수 없는 공정 융통성을 제공하므로 UV LED, 고효율 태양 전지, 고온 초전도체와 같은 신기술에 사용되는 재료 연구에 적합합니다. 이 시스템의 효율적인 단일 프레임 설계는 모든 진공 하드웨어를 온보드 전자장치와 결합하여 기타 MBE 시스템보다 최대 40퍼센트 적은 비율로 실험실 공간을 차지합니다. 이는 수동 시스템이 단일 프레임에 통합되어 설치 시간이 감소하기 때문입니다. 또한 GENxplor MBE 시스템의 개방형 구조 설계는 사용이 간단하며 effusion cells를 편리하게 이용할 수 있어 기타 MBE 시스템과 비교하여 더 간단한 편리성을 제공합니다. 최근에 소개된 Veeco의 개폐식 소스와 결합한 GENxplor MBE 시스템은 산화물 재료 연구에서 최첨단 기술입니다.

  • 최대 직경 3" substrate의 고품질 결정성장 층
  • 사용이 간단하며 소스 이용이 편리한 단일 프레임 구조로 편의성 향상
  • 효율적인 올인원 설계는 수동 시스템을 온보드 전자장치와 결합하여 기타 MBE 시스템에 비해 40퍼센트 실험실 공간 절약 가능
  • GaA, 질소화물, 산화물을 포함한 다양한 재료의 첨단 연구에 적합
  • Molly® 소프트웨어에서 손쉬운 recipe 작성, 자동화된 성장 제어, 24시간 데이터 기록 통합
  • 1850에서 성능이 입증된 Nova™ 초고온 substrate 히터(옵션)
  • GEN20™, GEN200®, GEN2000® MBE 시스템으로 직접 확장 가능

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