MBE 시스템

MBE 시스템

GEN2000 MBE 시스템

GEN2000 MBE 시스템

탁월한 throughput과 긴 캠페인 시간, 컴팩트한 배치도, 간결한 cluster tool 웨이퍼 공정

GEN2000® MBE 시스템은 탁월한 throughput과 긴 캠페인 시간, 컴팩트한 배치도, 간결한 cluster tool 웨이퍼 공정을 갖추고 있습니다. HBT나 pHEMT와 같은 무선 전기통신 장치를 대량 제조하거나 낮은 소유 비용으로 6"를 다수 생산해야 하는 신규 분야에 이상적입니다.

  • 업계 최저 수준의 웨이퍼당 원가
  • 동급 MBE 시스템보다 배치도를 40퍼센트 - 60퍼센트 줄인 탁월한 설계
  • 최대 2가지 성장 모듈을 사용할 수 있는 모듈식 구조로 throughput 향상 또는 비호환 재료 처리 가능
  • 용이한 유지관리로 uptime 극대화
  • 선택적 벌크헤드 설치로 cleanroom 공간 최적화
  • 업계에서 가장 혁신적이고 안정적인 시스템 하드웨어, 소스 및 구성요소 통합

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