MBE 시스템

MBE 시스템

GEN200 MBE 시스템

GEN200 MBE 시스템

현재 출시된 것 중 가장 경제적이고 용량이 큰 다중 4" 생산용 MBE 시스템

Veeco의 GEN200® MBE 시스템은 현재 출시된 것 중 가장 경제적이고 용량이 큰 다중 4" 생산용 MBE 시스템입니다. 이 시스템은 탁월한 throughput과 긴 캠페인 시간, 우수한 웨이퍼 품질로 펌프 레이저, VCSEL, HBT와 같은 장치를 위한 GaAs 또는 InP 기반 웨이퍼를 성장시킵니다.

  • 가장 저렴한 비용으로 4 X 4" epiwafer 성장 가능
  • 유사한 다른 MBE 시스템보다 배치도가 훨씬 작은 모듈식 구조
  • 최대 2가지 성장 모듈을 사용할 수 있어 throughput 향상 또는 비호환 재료 처리 가능
  • 선택적 벌크헤드 설치로 cleanroom 공간 최적화
  • 업계에서 가장 혁신적이고 안정적인 시스템 하드웨어, 소스 및 구성요소 통합

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