이중 Filament 소스

낮은 작동 온도에서 빠른 반응 속도를 보이도록 최적화


가열 제어 기능이 향상된 이 소스는 개별 filament 두 개로 도가니의 본체와 끝부분을 가열합니다. 끝부분 filament는 도가니 입구 부분의 응축을 막기 위해 hot-lip 모드로 작동합니다. 이와 함께 열 차폐 엔클로저를 채택하여 작동 온도 100°C - 750°C 범위에서 소스의 반응성과 안정성을 최적화했습니다.

  • 특허 받은 설계로 50개 이상 현장 배치
  • 낮은 작동 온도에서 빠른 반응 속도를 보이도록 최적화
  • 이중 filament hot-lip 가열로 도가니 오리피스의 응축 방지
  • 고증기압 재료의 탁월한 장기적 flux 안정성

Veeco MBE용 저온 이중 Filament 소스는 별도의 히터 두 개를 사용하여 도가니 전체의 온도 차이를 제어합니다. 도가니의 대부분은 1차 히터 filament에 의해 가열됩니다. 끝부분 filament는 도가니 입구 주변 부분만 가열하여 이곳의 복사열 손실을 상쇄합니다. 소스는 도가니 오리피스에서 재료 recondensation을 방지하며 이로 인해 source occlusion과 빔 shadowing을 일으킬 수 있는 hot-lip 모드에서 작동합니다.

작동 온도 100°C - 750°C 범위에서 소스 반응성과 안정성의 최적화를 위해 설계된 열 차폐 패키지에 저온 이중 Filament 소스가 밀폐됩니다. 작은 온도 변화조차도 flux에서는 극적인 변화를 불러올 수 있기 때문에 온도 안정성은 고증기압 재료에 중요합니다.

저온 이중 Filament 소스는 고성능 SUMO 설계에 이용 가능합니다. 더 자세한 내용은 "저온 SUMO 소스" 데이터 시트를 참조하십시오.

성능 및 장점

저온 이중 Filament 소스는 고증기압 재료를 증발시키기 위한 요구에 따라 정확하게 맞춤 조절됩니다.

장점:

  • 낮은 작동 온도에서 최적의 성능 발휘
  • 신속한 flux 안정화
  • 탁월한 장기적 flux 안정성

이중 filament "hot-lip" 가열은 도가니 오리피스의 응축을 방지합니다. 안티몬, 텔루륨 및 납 화합물 등과 같은 수많은 "까다로운" 재료의 사례에서 효과적인 것으로 입증되었습니다.

당사의 팀에서 언제든 도와드립니다.