Veeco의 MBE(분자선 결정성장)를 위한 Downward-Looking SUMO® 소스를 이용해 넉넉한 용량과 탁월한 flux uniformity, 작은 shutter flux transients 및 최소 감소를 달성합니다. 이중 filament 소스에 좁은 오프셋 오리피스와 원추형 테이퍼드 배출구가 달린 hot-lip 가열 방식의 비대칭형 SUMO 도가니를 결합했습니다. 그 결과 탁월한 재료 품질, 미미한 결함 발생 건수, 우수한 두께 균일성이 확보되었습니다. 참고: 이 소스는 알루미늄용이 아닙니다.

• 특허 받은 설계로 75개 이상 현장 배치
• 하방성 포트에 용융 충전 재료 확보
• 탁월한 flux 안정성과 균일성
• 재료 품질을 최적화하는 PBN 도가니 구조

Veeco 하방성 SUMO 소스는 비대칭형 SUMO 도가니가 있는 이중 filament 소스로 하방성 소스 포트 내부의 용융 충전량을 확보하도록 특별히 설계되었습니다. 좁은 오프셋 오리피스가 용해물을 수용하며 테이퍼드 배출구는 탁월한 flux uniformity를 실현합니다. 참신한 이 도가니 형태는 Veeco의 특허 받은 SUMO 기술로만 이용 가능합니다.

배출구 부분의 Hot-lip 가열은 충전 recondensation을 방지하고 그룹 III 관련 타원형 결함을 최소화합니다. 최적의 flux 안정성을 위해 도가니에서 베이스 히터 filament의 위치와 설계는 충전 재료의 비균일 분배에 따라 맞춤 조절됩니다. 이 소스는 알루미늄용이 아닙니다.

성능 및 장점

하방성 소스 포트를 사용하면 사용자가 하방성 소스 포트를 통해 MBE 시스템에서 이용 가능한 그룹 III 소스의 총 개수를 확장할 수 있습니다. 중복 소스는 가장 일반적으로 사용되는 재료의 총 충전량을 증가시키며 원하는 각 flux에 별도의 소스를 사용함으로써 다양한 flux 설정 사이를 빠르게 전환하게 해 줍니다. 또한 하방성 SUMO 소스는 얕은 상방성 포트에서 용융 소스 재료의 충전량을 증가시킵니다. 예를 들어 GEN III 시스템의 얕은 상방성 포트에서 175g 하방성 SUMO 소스의 갈륨 용량은 425g이지만 표준 400g SUMO의 갈륨 용량은 동일한 포트에서 49g에 불과합니다.

배출구 설계는 시스템의 기존 그룹 III 소스로 획득한 것과 비슷한 flux uniformity를 보장합니다. MOD GEN II 시스템은 2” 웨이퍼 전반에 걸쳐 표준 1% 균일성을 실현합니다.