부식성 물질 분해 밸브

복잡한 장치 구조 성장 가능


부식성 물질 분해 밸브의 우수한 flux 제어로 기존 열 제어 소스로는 불가능한 복잡한 구조를 만들 수 있습니다. 다양한 구성의 혼합 그룹 V 층은 표준 소스를 사용할 때 자주 필요한 recalibration 절차 없이 성장시킬 수 있습니다. 지속적인 차등 GaAs1-xSbx 층을 SIMS 분석한 결과 그룹 V 분해 밸브 두 개를 사용할 때 탁월한 flux 제어가 가능했으며, 서로 다른 두 성장 속도에서 동일한 결과가 도출되었습니다.

  • 특허 받은 전체 PBN 도가니와 175개 이상 현장 사용 중인 밸브 메커니즘
  • 성능이 입증된 유일한 밸브 안티몬 소스
  • 노즐 활용으로 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비 감소
  • 고도의 재현성을 갖춘 기계적 flux 제어
  • 넉넉한 충전량
  • 균열 또는 비균열 모드로 작업 가능
  • Sb, Te, Cd, CdTe, Zn, Mg 호환 가능

특허 받은 Veeco 부식성 분해 밸브 시리즈는 현재 출시된 제품 중 유일하게 성능이 입증된 전체 PBN 밸브 소스입니다. 이 혁신적인 기술은 금속 도가니 및 기존 밸브 소스의 밸브와 호환되지 않는 반응성 고증기압 재료(안티몬, 텔루륨 등)의 밸브 flux를 제어합니다. 소스 설계의 전체 밸브 어셈블리, 도가니와 컨덕턴스 튜브는 부식을 방지하는 PBN(열분해 질화붕소)으로 구성되어 있습니다.

밸브 어셈블리는 탈착식이며 컨덕턴스 튜브를 통해 큰 용량의 도가니를 쉽게 장착할 수 있습니다. 도가니를 가열하여 beam flux를 생성합니다. PBN 밸브를 통해 가스 흐름을 조절하여 신속한 flux 안정화, 순간적인 차단 및 탁월한 재현성을 자랑합니다. 균열 구간에서 분자 flux는 더 작은 분자 또는 원자 종류로 열 분해될 수 있습니다. 또한 원하는 경우 비균열 모드로 소스를 작동할 수 있습니다.

최근에 향상된 Mark V 부식성 분해 밸브 시리즈는 노즐을 사용하여 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비를 줄입니다. 이러한 재료 활용 향상의 결과는 다음과 같습니다.

  • 재료 비용 절감
  • 긴 캠페인 시간
  • 단축된 시스템 세척 시간
  • 덜 유해한 폐기물 생성
  • 메모리 효과 절감
  • 낮아진 미립자 수치 및 플레이킹
  • 줄어든 시스템 창 코팅

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