Veeco 다중 오리피스 CBr4 가스 흐름 제어 시스템을 Veeco 저온 가스 소스와 함께 사용할 경우, CBr4 가스를 탄소 dopant 소스로 활용하여 UHV 환경에 대한 CBr4 가스 주입을 제어할 수 있습니다. closed-loop 압력 제어와 일련의 공합식 on/off 밸브를 사용하는 이 시스템은 가스 조절 역량을 극대화합니다. 인터로크 통합은 잠재적 장비 손상을 방지하고 최적의 진공 시스템 성능을 보장합니다. Veeco CBr4 가스 흐름 제어 시스템은 선택 시스템 상태에 대해 두 가지 모드를 제공합니다. local 모드와 remote 모드로 선택할 수 있습니다. 자동화된 MBE 시스템에서 Remote 상태를 선택하려면 시스템 성장을 제어하는 ECS1™ 버전의 Molly® Growth Control Software가 필요합니다.