Veeco의 수명이 긴 중온 환경용 항암모니아 MBE(분자선 결정성장) 소스를 이용해 암모니아(NH3) 기반 결정성장의 생산성과 성능을 극대화합니다. 캠페인 시간이 늘어나고 수리 비용은 최소화되며 탁월한 성장 속도를 얻을 수 있습니다. 이 소스는 최고 온도 1350°C, 최고 암모니아 분압 1x10-4Torr에서 우수한 성능을 발휘합니다. Substrate 히터와 SUMO 도가니를 사용하면 성과가 한층 더 좋아질 수 있습니다.

• 암모니아 환경에서 수명 연장
• flux 분포를 최적화하고 공핍 효과를 최소화하는 SUMO 도가니
• 최고 암모니아 분압 1x10-4Torr
• 최고 온도 1200°C
• 20개 이상 현장 사용 중

성장 속도가 우수하고 제어가 용이한 덕분에 암모니아(NH3)를 질소 소스로 많이 사용하고 있습니다. 하지만 암모니아는 장비의 수명을 크게 단축할 수 있습니다. 수소 취하 때문에 소스와 히터 filament가 겨우 몇 개월만 지속되는 것은 흔히 있는 일입니다. 따라서 장비의 uptime이 떨어져 캠페인 시간이 단축되고 수리 비용이 증가하게 됩니다.

Veeco는 특수 항암모니아 재료를 사용하여 암모니아 분압이 높은 환경에서 혁신적이면서도 입증된 소스와 substrate 히터 작업을 할 수 있습니다. Veeco의 항암모니아 소스와 히터는 현재 최고 온도 1200°C, 최고 암모니아 분압 1x10-4Torr까지 사용할 수 있습니다.