웨이퍼 검사 시스템

웨이퍼 검사 시스템

초고속 3D 웨이퍼 검사 시스템은 Ultratech의 핵심 역량인 광학 엔지니어링, 시스템 통합 및 재료 물리학에 대한 광범위한 지식을 활용하여 개발되었습니다.

Veeco Ultratech 초고속 4G 웨이퍼 검사 시스템

초고속 4G는 소유 비용을 낮추면서 이전 세대의 도구를 개선했으며 FinFET 지형 및 왜곡 제어를 위해 채택되었습니다.

 

Veeco Ultratech 초고속 4G+ 웨이퍼 검사 시스템

Superfast 4G+는 4G에 비해 처리량, 변위 반복성 및 엣지 배제를 향상시키는 업그레이드를 제공합니다.