가스 및 증기 공급 시스템

가스 및 증기 공급 시스템

Veeco의 가스 및 증기 공급 시스템은 반도체 제조 및 위탁 생산 업체가 직면하고 있는 자재비, 공정 재현성, 시스템 up-time과 같은 중요한 문제를 해결합니다. 

Apex 가스 혼합 시스템

Apex 가스 혼합 시스템을 통해 저렴한 고농도 가스를 구입하여 생산 비용을 절감하십시오.

정밀 가스 혼합 시스템

정밀 가스 혼합 시스템으로 가스 혼합 농도를 높이십시오. 가스 혼합물을 생성하여 공정 제어를 강화하고 수율을 높입니다.

Piezocon 가스 농도 센서

Piezocon® 가스 농도 센서는 CVD 및 MOCVD 공정에서 화학적 전구체 증기와 dopant 가스에 대한 재현 가능한 증기 공급 제어의 업계 표준으로, 높은 수율을 제공합니다.