Diamond-Like Carbon(DLC)

Diamond-Like Carbon(DLC)

Veeco NEXUS DLC-X 시스템은 얇은 DLC(diamond-like carbon) 피막을 조밀하고 균일하며 재현 가능한 방식으로 증착시켜 오래 지속되는 TFMH 슬라이더 오버코팅과 증착 패드를 만들어 줍니다. Nexus DLC-X는 업계 최초의 양산급 펄스형 Filtered Cathode Arc(FAC) 소스를 사용하여 오버코팅 두께를 20A 이하로 줄였으며, 단계별 증착 범위를 향상시켜 이전 제품보다 공정 수율이 우수합니다. 

NEXUS DLC-X Diamond-Like Carbon(DLC) 시스템

Veeco NEXUS DLC-X 시스템은 얇은 DLC 피막을 조밀하고 균일하며 재현 가능한 방식으로 증착시켜 오래 지속되는 TFMH 슬라이더 오버코팅과 증착 패드를 만들어 줍니다.