원자층 증착

원자층 증착

Veeco의 원자층 증착 시스템(서배너, 피지 및 피닉스)은 깊은 구멍, 트렌치 및 공동 내부에서도 두께가 완벽하게 균일한 핀홀 없는 코팅을 증착하도록 설계되었습니다.

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