MOCVD 시스템

MOCVD 시스템

TurboDisc K475i As/P MOCVD 시스템

TurboDisc K475i As/P MOCVD 시스템

업계 최고의 생산성과 최고의 수율을 자랑하는 As/P MOCVD 시스템

Veeco의 신형 TurboDisc K475i As/P MOCVD 시스템은 빨간색, 주황색, 노란색(R/O/Y) LED, 다중 접합 III-V 태양 전지, 레이저 다이오드 및 트랜지스터 생산을 위한 업계 최고의 리액터입니다. K475i 시스템은 Veeco의 Uniform FlowFlange™ 기술을 사용하는 새로운 리액터 설계가 특징이며, 이 기술은 균일성이 매우 높고 업계 최저 입자 생성률로 웨이퍼 내 및 웨이퍼 간 재현성이 향상된 필름을 생산할 수 있습니다. Uniform FlowFlange 기술은 간소한 설계 덕분에 조정 과정이 간단하여 공정 최적화 및 유지관리 후 도구의 복구 시간이 단축되므로 조명, 태양광, 레이저 다이오드, 부정형 고전자 이동도 트랜지스터(pHEMT) 및 헤테로 접합 양극 트랜지스터(HBT)와 같은 응용 분야에서 최고의 생산성을 낼 수 있습니다.

  • 새로운 Uniform FlowFlange 기술 설계는 업계 최고의 균일성 및 공정 재현성으로 최상의 결과 도출 가능
  • 견고한 리액터 설계로 사용이 편리하며 유지관리 후 복구 시간 단축되어 uptime 극대화
  • 완전 자동화를 통해 업계 최고의 생산성 발휘
  • 생산성이 입증된 플랫폼으로 최저 소유 비용 보장

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