MBE 시스템

MBE 시스템

GENxcel R&D MBE 시스템

GENxcel R&D MBE 시스템

최대 직경 4" substrate의 고품질 결정성장 층

새로운 GENxcel™ 시스템은 2013년 8월에 출시된 이후 베스트셀러를 기록하며 수상 경력을 자랑하는 MBE 시스템 GENxplor™에서 확장되고 있으며, GENxplor 시스템의 4" 성능에 비해 단일 3" 기판에 고품질 적층 성장이 가능합니다. GENxcel 시스템은 손쉬운 수동 전송 시스템인 12 소스 포트와 최신 전자 장치를 단일 프레임 설계에 완벽하게 통합하여 실험실 공간 효율을 극대화합니다. 

 

  • 최대 직경 4" substrate의 고품질 결정성장 층
  • 사용이 간단하며 소스 이용이 편리한 단일 프레임 구조로 편의성 향상
  • 효율적인 올인원 설계는 수동 시스템을 온보드 전자장치와 결합하여 기타 MBE 시스템에 비해 40퍼센트 실험실 공간 절약 가능
  • GaA, 질소화물, 산화물을 포함한 다양한 재료의 첨단 연구에 적합
  • Molly® 소프트웨어에서 손쉬운 recipe 작성, 자동화된 성장 제어, 24시간 데이터 기록 통합
  • 1850에서 성능이 입증된 Nova™ 초고온 substrate 히터(옵션)
  • GEN20™, GEN200®, GEN2000® MBE 시스템으로 직접 확장 가능

CS 산업 혁신 어워드 - GENxcel MBE 시스템

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