특허 받은 Veeco 부식성 분해 밸브 시리즈는 현재 출시된 제품 중 유일하게 성능이 입증된 전체 PBN 밸브 소스입니다. 이 혁신적인 기술은 금속 도가니 및 기존 밸브 소스의 밸브와 호환되지 않는 반응성 고증기압 재료(안티몬, 텔루륨 등)의 밸브 flux를 제어합니다. 소스 설계의 전체 밸브 어셈블리, 도가니와 컨덕턴스 튜브는 부식을 방지하는 PBN(열분해 질화붕소)으로 구성되어 있습니다.
밸브 어셈블리는 탈착식이며 컨덕턴스 튜브를 통해 큰 용량의 도가니를 쉽게 장착할 수 있습니다. 도가니를 가열하여 beam flux를 생성합니다. PBN 밸브를 통해 가스 흐름을 조절하여 신속한 flux 안정화, 순간적인 차단 및 탁월한 재현성을 자랑합니다. 균열 구간에서 분자 flux는 더 작은 분자 또는 원자 종류로 열 분해될 수 있습니다. 또한 원하는 경우 비균열 모드로 소스를 작동할 수 있습니다.
최근에 향상된 Mark V 부식성 분해 밸브 시리즈는 노즐을 사용하여 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비를 줄입니다. 이러한 재료 활용 향상의 결과는 다음과 같습니다.