특허 받은 Veeco 비소 분해 밸브는 고체 소스 MBE를 변혁한 소스입니다. 전 세계의 수많은 MBE 시스템에 사용되며 R&D 및 생산의 업계 표준 비소 소스입니다. Veeco 분해 밸브의 혁신적인 설계는 가스 소스의 편의성에 고체 소스의 안전함까지 더합니다. 큰 용량의 도가니 내에서 고체 비소를 가열하여 beam flux를 생성합니다. 내화 금속 needle valve는 별도로 가열되는 균열 구간으로 가스 흐름을 조절합니다. 분해 구간 온도 조절로 As4 또는 As2 빔을 생성할 수 있습니다.

• 특허받은 설계로 약 1000대 시스템 현장 배치
• 고급 flux 모델링 기능으로 시스템의 형상 및 사용 사례에 맞춤형 노즐 설계 지원
• 재료 활용도와 flux uniformity를 최적화하는 노즐 설계
• 거의 즉각적인 반응 속도로 기계적 flux 제어
• 표준 소스보다 경제적인 운영

최근에 향상된 Mark V 비소 분해 밸브는 노즐을 사용하여 탁월한 flux uniformity를 확보하고 재료 낭비를 줄입니다. 이러한 재료 활용 향상의 결과는 다음과 같습니다.

• 재료 비용 절감
• 긴 캠페인 시간
• 단축된 시스템 세척 시간
• 덜 유해한 폐기물 생성
• 메모리 효과 절감
• 낮아진 미립자 수치 및 플레이킹

감소된 시스템 창 코팅 Veeco 비소 분해 밸브는 모든 MBE 시스템과 호환 가능한 다양한 크기로 준비되어 있습니다. 많은 경우에 크기가 두 가지 이상이므로 비소를 많이 사용하는 응용 분야에서 상황에 맞게 사용할 수 있습니다. 출구 노즐은 웨이퍼 또는 platen 전반에 걸쳐 flux uniformity가 탁월한 특정 MBE 시스템에 맞춤화되어 있습니다. Veeco의 자동화된 Valve Positioner SMC-II를 이 소스와 함께 사용하는 것이 이상적이며 이를 통해 needle valve를 안정적으로 자동 제어할 수 있습니다.

성능 및 장점

비소 분해 밸브는 거의 즉각적인 flux 모듈화와 완벽한 flux 차단을 이루는 needle valve를 사용하여 성장 공정의 제어를 최적화합니다. 충전 재료의 공핍 현상 없이도 작동 온도로 소스를 지속적으로 유휴 작동할 수 있습니다. 기존의 개방형 소스에서 사용되던 열 제어 대신 기계적 flux 제어로 소스의 반응성을 제한하지 않고 충전량을 임의로 높일 수 있습니다.

알려진 장점은 다음과 같습니다.

• 성장 공정 심층 제어
• 우수한 생산성
• 더 길어진 성장 캠페인
• As 소비 감소
• 더 철저한 충전 outgassing
• As의 비의도적인 heterostructure 결합 방지
• 실시간 진단 도구의 효과적 활용